Research Progress on Molecular Glass Photoresist

CHEN Hui; TANG Dong-mei; JIANG Le-jie; YE Run-ping; ZHANG Rong-bin; FENG Gang; MENG Shuai

doi:10.14028/j.cnki.1003-3726.2024.24.143

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Research Progress on Molecular Glass Photoresist

更新时间：2024-11-20

- Research Progress on Molecular Glass Photoresist
- Polymer Bulletin Vol. 37, Issue 11, Pages: 1524-1534(2024)
- 作者机构：
  
  1.国家知识产权局专利局化学发明审查部，北京 100088
  2.南昌大学化学化工学院，南昌 330031
- 作者简介：
- 基金信息：
- DOI：10.14028/j.cnki.1003-3726.2024.24.143
  CLC：
- Published：20 November 2024，
  
  Published Online：17 July 2024，
  
  Received：09 May 2024，
  
  Accepted：20 June 2024
- 稿件说明：
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陈辉, 汤冬梅, 江乐杰, 叶闰平, 张荣斌, 冯刚, 孟帅. 分子玻璃光刻胶的研究进展. 高分子通报, 2024, 37(11), 1524–1534

Chen, H.; Tang, D. M.; Jiang, L. J.; Ye, R. P.; Zhang, R. B.; Feng, G.; Meng, S. Research progress on molecular glass photoresist. Polym. Bull. (in Chinese), 2024, 37(11), 1524–1534
陈辉, 汤冬梅, 江乐杰, 叶闰平, 张荣斌, 冯刚, 孟帅. 分子玻璃光刻胶的研究进展. 高分子通报, 2024, 37(11), 1524–1534 DOI： 10.14028/j.cnki.1003-3726.2024.24.143.

Chen, H.; Tang, D. M.; Jiang, L. J.; Ye, R. P.; Zhang, R. B.; Feng, G.; Meng, S. Research progress on molecular glass photoresist. Polym. Bull. (in Chinese), 2024, 37(11), 1524–1534 DOI： 10.14028/j.cnki.1003-3726.2024.24.143.

摘要

以分子玻璃为成膜树脂制备的光刻胶是极紫外光刻胶领域的研究热点。本文介绍了分子玻璃光刻胶的主要结构，搜集整理分子玻璃的期刊文献与专利文献，根据分子拓扑结构将分子玻璃分为树枝状、环状、其他形状三大类，按照国别及公开时间列举代表性研究成果，分析了不同结构的分子玻璃的性能，总结了分子玻璃光刻胶应用现状并展望其未来发展趋势。

Abstract

Photoresists prepared with molecular glass as the film-forming resin are a hot spot of investigation in the field of EUV photoresists. The paper introduced the main structure of molecular glass photoresist

collecting journal and patent literature for molecular glasses

which are classified into three categories according to molecular topology: dendritic

cyclic and other structures

listing typical research achievements according to the country and publication time

analyzing the performance of molecular glasses of different structures

summarizing the current state of application of molecular glass photoresists and looking towards its future developments.

关键词

分子玻璃光刻胶专利

Keywords

Molecular glassPhotoresistPatent

references

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