酸分解高分子的新进展

余尚先; 顾江楠

doi:10.14028/j.cnki.1003-3726.1990.04.003

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酸分解高分子的新进展

专论与综述 | 更新时间：2022-09-18

- 酸分解高分子的新进展
- Recent Progress on Acidolysis Polymers
- 高分子通报 1990年3卷第4期页码：205-212
- 作者机构：
  
  北京师范大学应用化学研究所，北京，100875
- 作者简介：
  
  [ "余尚先　54岁，副研究员。专业：功能高分子感光性高分子和非银盐光记录材料。曾发表感光性高分子论文、综述等54篇，公开专利9项，合著专著两本，共译译著一本。现任北师大应化所感光树脂研究室主任，《感光材料》等杂志编委，中国感光研究会常务理事等。" ]
- 基金信息：
- DOI：10.14028/j.cnki.1003-3726.1990.04.003
  中图分类号：
- 纸质出版日期：1990，
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余尚先, 顾江楠. 酸分解高分子的新进展[J]. 高分子通报, 1990,3(4):205-212.

Shangxian Yu, Jiangnan Gu. Recent Progress on Acidolysis Polymers[J]. Polymer Bulletin, 1990,3(4):205-212.
余尚先, 顾江楠. 酸分解高分子的新进展[J]. 高分子通报, 1990,3(4):205-212. DOI： 10.14028/j.cnki.1003-3726.1990.04.003.

Shangxian Yu, Jiangnan Gu. Recent Progress on Acidolysis Polymers[J]. Polymer Bulletin, 1990,3(4):205-212. DOI： 10.14028/j.cnki.1003-3726.1990.04.003.

摘要

提要本文综述了80年代酸分解高分子的进展，并对其作了详细分类。以其不同的结构特征阐明了它们的酸解机理。本文还对酸解高分子用于成像材料、特别是化学增幅抗蚀剂的前景作了展望。

Abstract

This paper presents a review on a lot of asidolysis polymers in the 1980' s. A detailed classification of the polymers are given. The characteristics of their structures are illustrated from the view point of chemistry and on these grounds their acidolysis mechanism are explained. The prospects of using them for the imaging materials

especially chemical amplification resists

are also forecasted.

关键词

酸分解高分子化学增幅抗蚀剂酸解机理光致抗蚀剂

Keywords

Acidolysis polymerChemical amplification resistAcidolysis mechaniamPhotoresist

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